Kathodenzerstäubung
Ka|
- Grammatik
- Femininum
- Schreibvariante
- oV Katodenzerstäubung
- Sachgebiet
- El.
Bedeutung
Form der Materialbearbeitung, bei der ein Material durch Hochspannung an einer Kathode zerstäubt wird u. in feinen Schichten auf einem als Anode geschalteten Material niedergeschlagen wird; oV Katodenzerstäubung