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ein Gerät zur Bestimmung der chem. Zusammensetzung einzelner Phasen im Gefüge einer Schliffprobe. Dabei wird ein scharf gebündelter Elektronenstrahl auf den zu untersuchenden Gefügebestandteil der Schliffoberfläche gerichtet. Es entsteht eine Röntgenstrahlung, die je nach Zusammensetzung der Probe ein charakterist. Röntgenspektrum hat, das mit einem Analysatorkristall in die einzelnen Spektrallinien zerlegt wird. Die Intensität der spektral zerlegten Strahlungslinien wird mit einem Geiger-Müller-Zählrohr (Geigerzähler) gemessen, die in der Zeiteinheit aufgenommenen Zählimpulse sind ein Maß für den Prozentgehalt des betreffenden Elementes in der Probe.