Röntgenlithographie

Verfahren zur Herstellung von Hochleistungschips. Dabei werden die Strukturen der elektronischen Leitungsbahnen mit Röntgenstrahlen auf die Siliciumplatte übertragen, was die Projektion schmalerer Bahnen erlaubt (0,25 – 0,5 μ m) als bei Belichtung mit gewöhnlichem Licht.