V ạ kuumpumpe

technisch-physikalischer Apparat zur Reduzierung des Gasdrucks in einem abgeschlossenen Raum. Zu den einfachsten Vakuumpumpen gehören die mechanischen Pumpen (z. B. Kolben- und Kapselpumpen); sie erzeugen Drücke von rund 0,1 Pascal und dienen als Vorpumpen zu den mit einem Flüssigkeits- oder Dampfstrahl (z. B. Quecksilberdampf, Öldampf) arbeitenden Vakuumpumpen sowie den Turbomolekularpumpen , mit denen man Drücke von rund 10 -5 Pa erhält. Durch Einsatz von Getterionenpumpen, Titan-Sublimationspumpen und ultrakalten Flächen ( Kryopumpen ) ist es heute möglich, einen Restdruck von etwa 10 -11 Pa zu erzielen.